臭氧分子由三个带负电的氧原子组成。一段时间后，由于臭氧分子的不稳定性和半衰期短，它又恢复到原来的形态。臭氧发生器通过给通过的氧分子(O2)施加电荷而产生臭氧(O3)，使氧原子分开并暂时与其他氧分子重新结合。工业臭氧发生器具有设计用于通过电介质材料扩散放电以产生臭氧的电池。
臭氧模块的工作原理很简单，它通过电介质扩散火花，将放电扩散到一个大的区域。
电晕放电与板式臭氧
当导体周围的气态空气混合物(~21%的氧气)被放电电离时，就会发生电晕放电。电晕放电臭氧发生器可以产生3-5%的臭氧气体浓度，这取决于配置，不需要高浓度的氧气。
板式臭氧发生器的工作原理是介质阻挡放电，在阳极和阴极之间利用电流，通过纯氧源(~95%纯度)产生电场。当电荷通过氧气时，它使气体电离到一个点，在那里它变得导电并形成板式。板式臭氧发生器需要高浓度的氧气，可以产生浓度为10-15%的臭氧气体。
板式对电晕放电臭氧产生的好处
与同等的电晕放电臭氧发生器相比，板式臭氧发生器以更小的占地面积提供更高的臭氧气体浓度。
由于板式臭氧发生器使用纯氧供给运行，因此它们不容易受到电晕放电臭氧发生器中常见的臭氧气体浓度波动的影响。
与相同容量的电晕放电臭氧发生器相比，板式臭氧发生器产生的热量更少。
板式臭氧发生器现场
