所谓干扰组分就是指与待测组分特征吸收波带有交叉或重叠的其他组分。为了消除干扰组分的干扰，准确检测待测组分的浓度，可采取多种措施，如设置滤波气 室、或干涉滤光片，使这些干扰组分特征吸收波带的光在进入测量气室或检测器之前就被吸收掉，只让待测组分特征吸收波带的光通过。
　　水分干扰：水分广泛存在于工艺气体中，生产状态的变化，预处理运行的变化，环境温度、压力的变化，都会使进入分析仪中的气样的含水量发生变化。水分在 1~9μm波长范围内几乎有连续的吸收带，其吸收带和许多组分特征吸收波带重叠在一起。当两者的吸收波带重叠时，即使采取前述措施，也难以消除水分干扰带 来的测量误差。因为这些措施对水分和被测组分的作用是相同的，由于气样中水分的含量会随时变化，所以很难估计其对测量误差的影响。减少或降低水分对待 测组分的干扰，目前的有效办法是在预处理系统中除水脱湿，降低气样的露点。常用的办法是采用带温控系统的冷却器降温除水。