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ZYGO白光轮廓仪之“快速跳跃扫描”ZIP-SCAN模式

2025年12月10日 09:33:49      来源:上海浦量元精密机电有限公司 >> 进入该公司展台      阅读量:21

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您知道么?ZYGO所有型号白光轮廓仪,都具有ZIP-SCAN“快速跳跃扫描” 模式,用于大高度,多层台阶的高效测量。

 

对于有高度差的台阶表面,ZYGO基本解决方案是,以扫描高度覆盖台阶高度,从而测出台阶样品整个微观形貌。但高精度模式下,压电陶瓷扫描长度一般在100um左右,这大大限制了台阶高度的测量范围。 

ZYGO还提供延长扫描(Extended Scan Length)的测量方案,以电机驱动纵向扫描,高度可达20mm,几乎可以解决大部分高落差的台阶样品。但由于在整个20mm高度的扫描过程中,系统一直在测量采样,所以这一扫描测量过程,会花费较长的时间。 

如果您的样品具有大的台阶跳跃,或者多层台阶,对测量时间效率要求高,那您可以考虑ZYGO的“快速跳跃扫描”ZIP-SCAN模式。

 

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Zip Scan(快速跳跃扫描)模式,是以电机驱动,移到预设的台阶高度,再切换为压电陶瓷做高精度扫描。测试时兼容多个CSI扫描模式,包括SureScan抗震模式,同时还可兼容Stitch拼接和Pattern功能。

Zip Scan的优点:对于台阶高度大的样件,Zip Scan测试效率高,节约时间成本,测试结果准确。避免了延长扫描的长耗时,减少了延长扫描过程中环境震动的影响。同时,对于多台阶的样件,可实现每层可以自定义光强,以及每层可以自定义扫描长度。

 

如需进一步了解产品及应用,请通过下面方式联系我们。 

上海浦量元精密机电有限公司

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