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真空钟摆阀集成整合压力控制

2025年12月08日 09:27:47      来源:工业之家 >> 进入该公司展台      阅读量:2

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  Htc真空钟摆阀具有高性能真空壓力控制系統,控制節流擺閥板可做開關動作,調整閘板開口大小及調整壓力(手動),主要設計用來取代傳統的線性作動真空閘閥,以更少的移動零件、更少金屬與金屬間的摩擦,就能讓粉塵減少。以Htc日揚真空鐘擺閥的安裝也比傳統的真空閘閥方式只需要更少的空間即能便利安裝。
  真空钟摆阀的应用
  高科技制程后段压力控制和隔离阀
  应用产业
  >>SEMI-半导体
  >>FPD-光电面板
  >>CVD-化学气相沉积
  >>Solar-太阳能
  APC钟摆阀特点
  集成整合压力控制
  精确的压力控制
  密实的隔离
  反应时间快
  友善简易操作使用接口
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