氨水可用以处理半导体制程中所产生的氨水，并产生氨气及水溶液，藉此可将氨气回收再利用，而处理过程中所产生的水溶液则符合环保法规的排放标准，为此不仅可降低半导体制程的成本，亦可降低排放气体对环境所造成的污染。
　　提出了一种氨水处理装置，包括多个层迭设置的板槽，并在各个板槽之间形成动空间。此外板槽的上表面具有一容置槽，可用以容纳由液体输入端进入的氨水，其中容置槽内的氨水受热后，部分的水气及氨气会由氨水排出，此外排出的水气及氨气可进一步加热上方的板槽及氨水。
　　提出了一种氨水处理装置，主要于一外壳体内设置多个层迭设置的板槽，并通过板槽将外壳体内的容置空间区隔成动空间。外壳体的上方设置至少一液体输入端及至少一气体输出端，而外壳体的下方则设置至少一液体输出端。由液体输入端进入的氨水会经由上方的板槽流到下方的板槽，而后再流到加热单元。随着氨水逐渐靠近加热单元，氨水的温度将会逐渐上升，使得氨水内的氨气排出，而靠近加热单元的氨水的氨浓度很低，并符合环保法规的排放标准，可由液体输出端排出。
　　多个板槽，以层迭的方式设置，该板槽包括一板体及至少一侧板，其中该板体包括一上表面及一下表面，而该侧板设置于该板体的该上表面，使得该侧板与该板体的该上表面之间形成至少一容置槽;一外壳体，包括多个壳板、至少一液体输入端、至少一液体输出端及至少一气体输出端，该多个壳板之间具有一容置空间，该层迭设置的板槽设置于该容置空间内，并将该容置空间区隔成为动空间，其中该液体输入端、该液体输出端及该气体输出端流体连通该流动空间;及一加热单元，位于层迭设置的该多个板槽的下方。
　　多个板槽，以层迭的方式设置，该板槽包括一板体及至少一侧板，其中该板体包括一上表面及一下表面，而该侧板设置于该板体的该上表面，使得该侧板与该板体的该上表面之间形成至少一容置槽;一外壳体，包括多个壳板、至少一液体输入端、至少一液体输出端及至少一气体输出端，该多个壳板之间具有一容置空间，该层迭设置的板槽设置于该容置空间内，并将该容置空间区隔成为动空间，其中该液体输入端、该液体输出端及该气体输出端流体连通该流动空间，且该流体输入端的上方及下方皆设置该板槽;一加热单元，位于该流体输入端及层迭设置的该多个板槽的下方;及一冷却单元，位于该流体输入端及层迭设置的该多个板槽的上方。
　　相邻的该板槽分别连接该外壳体的相面对的两个壳板，并于该板槽与该壳板之间形成一连通道，且该间隔空间及该连通道形成该流动空间。
　　该侧板、该板体的上表面及该外壳体的该壳板形成该容置槽。
　　该液体输入端为一氨水的输入口，该气体输出端为一氨气的输出口，而该液体输出端则为一水溶液的输出口。
　　该液体输入端及该气体输出端靠近该外壳体的顶部，而该液体输出端则靠近该外壳体的底部该板体的该上表面及该下表面分别具有多个凹陷部。该侧板与该板体的上表面的该凹陷部形成该容置槽。
　　相邻的该板槽的该凹陷部之间具有一间隔空间，且该间隔空间的剖面为六边形、正六边形、四边形、多边形、圆形或圆弧形。
　　氨水处理装置还包括一氨气浓度提升装置，包括：多个第二板槽，以层迭的方式设置，该第二板槽包括一板体及至少一侧板，其中该侧板与该板体之间形成至少一容置槽;一第二外壳体，包括多个壳板、至少一气体输入端、至少一气体输出端及至少一液体输出端，该多个壳板之间具有一容置空间，该层迭设置的第二板槽设置于该容置空间内，并将该容置空间区隔成为动空间，其中该气体输入端、该气体输出端及该液体输出端流体连通该流动空间，其中该第二外壳体上的气体输入端连接该外壳体上的气体输出端;及一冷却单元，位于层迭设置的该多个第二板槽的上方。

 　包括至少一输送泵及至少一管线，该液体输出端通过该输送泵连接该管线，其中该管线穿透该外壳体，且部分该管线位于该板槽的该容置槽内。
　　该液体输入端下方的该加热单元及该板槽被定义为一加热区，而该液体输入端上方的该冷却单元及该板槽则被定义为一冷凝区。
优点是：
　　氨水处理装置可用以处理半导体制程中所产生的氨水，并产生氨气及水溶液，藉此可将氨气回收再利用，而处理过程中所产生的水溶液则符合环保法规的排放标准，为此不仅可降低半导体制程的成本，亦可降低排放气体对环境所造成的污染。