气相输运与沉积系统的稳定运行高度依赖腔体洁净度和部件性能，科学的维护保养可使薄膜沉积均匀性提升15%，设备故障间隔延长至1000小时以上。腔体清洁与部件更换需遵循“预防为主、分级维护”原则，针对不同污染类型和部件损耗特性制定精准方案。
腔体清洁需按污染程度分级处理。轻度污染(沉积薄膜厚度<5μm)可采用干法清洁：关闭系统后通入氧气(流量200sccm)，维持腔体压力50Pa，开启等离子体源(功率300W)处理30分钟，通过氧等离子体氧化去除有机残留物。中度污染(5-20μm)需结合湿法清洗：拆卸腔体端盖，用浸有无水乙醇的无尘布擦拭内壁，缝隙处用专用尼龙刷(直径2mm)清理，再用异丙醇二次擦拭，较后用高纯氮气(99.999%)吹扫10分钟。重度污染(>20μm)需使用超声清洗：将可拆部件放入盛有5%氢氟酸溶液的超声槽(频率40kHz)，清洗15分钟后用去离子水冲洗至pH=7，烘干后装配(避免裸手接触，需戴洁净手套)。
关键部件的更换需把握寿命周期。气体管路过滤器(过滤精度0.1μm)每500小时更换一次，出现压降超过0.1MPa时立即更换，防止杂质进入反应区。密封圈优先选用氟橡胶材质(耐温200℃)，使用300次循环或6个月后需更换，更换前检查密封槽是否有划痕(深度>0.1mm需研磨修复)。加热元件(如石墨加热器)的更换依据电阻变化：当实测电阻与初始值偏差超过10%时，需及时更换以保证温度均匀性(±2℃以内)。对于旋转靶材，当磨损量达到初始厚度的30%时更换，避免因靶材变形导致的等离子体分布不均。
部件更换的操作规范直接影响系统性能。真空阀门更换时，需确保法兰面平行度误差小于0.05mm/m，螺栓按对角均匀拧紧(扭矩25N・m)，防止漏气(漏率需<1×10⁻⁸Pa・m³/s)。更换气体质量流量控制器(MFC)后，需用标准气体(如氮气)校准：在50%满量程点误差应<1%，线性度偏差<0.5%。沉积靶材安装时，需保证其与基片距离偏差<0.5mm，否则会导致薄膜厚度偏差超过3%。
特殊场景的维护需针对性调整。制备含金属元素薄膜(如铝、铜)的系统，腔体清洁后需通入少量氯气(50sccm)钝化处理，防止残留金属离子催化反应。高温沉积系统(>800℃)的腔体螺栓需每200小时重新紧固(热膨胀导致松动)，使用高温润滑脂(耐温300℃)减少螺纹磨损。对于易腐蚀环境(如含硫、氯气体)，腔体内部需定期喷涂氮化铝涂层(厚度50μm)，每1000小时检查涂层完整性，出现剥落及时修补。
维护后的性能验证很重要。清洁装配后需进行真空检漏：关闭所有阀门，抽真空至1×10⁻⁴Pa后关闭真空泵，30分钟内压力升高应<5×10⁻⁵Pa。通过沉积测试片验证：在标准工艺参数下沉积500nm厚二氧化硅薄膜，用台阶仪测量厚度均匀性(偏差需<2%)，确保维护效果达标。建立维护台账，记录清洁次数、部件更换时间及性能验证数据，为制定个性化维护周期提供依据。
