一、用途

本单晶硅干燥台车式烘箱适用于粉末烘干及硅晶片烘干之用。

本单晶硅烘箱是由炉体、台车、加热元件、排气系统、控制系统等组合。

1、 炉体是采用角钢、槽钢等型号材料焊接而成。

外壳材料是采用2㎜冷轧板焊接，内衬钢板也是2㎜固定。胃料全部采用优质角钢支架，两层钢板空间填满保温材料，保温材料的材质为高纯纤维棉，保温层厚度为120㎜。

2、 台车采用手动型，结构为槽钢钢板焊接，下部安装4只走轮，道轨采用15路轨，本台设备配备2台台车架。

台车的上部焊有装料机架，四周采用家管焊接，分两层，装料时，先把台车平面一层装好，再把上层的装料架与下层的定位套对正放平，然后装料使用。装好工件后手工推入炉膛进行加热。

3、 加热元件采用管状加热器，分布在两侧及底部。加热器的材质为不锈钢管发热段。

4、排气系统采用空管连排，从炉顶到车间外面。

5、 控制系统采用PID可控硅控制，上海国龙智能表操作。（温度设定、时间设定、功率可调节大小）

6、 在加热元件外围加一保护网，防止碳化硅在烘焙过程中包装袋与加热元件直接接触燃烧。

使用说明及维护

1、 操作人员必须了解以下几点：

A、 电炉及其辅助设备的结构和性能。

B、 配电系统、控制系统的布置及安全装置的位置等。

C、 操作工艺和安全操作规程。

2、 运行前准备工作

A、 检查设备的电源是否正常。

B、 检查接地装置接线处的接触是否良好。

C、 检查加热元件是否有损坏的地方，各连接处的接触是否良好，有否与炉体及罩壳相接触的地方，并进行电炉的绝缘试验。

D、 检查温控系统是否有不正常的现象。

3、 带有腐蚀性、挥发性、爆炸性气体的工件严禁进入炉体加工，以免影响加热元件和耐火材料的使用寿命及引起爆炸等事故。

4、 电炉不得超温运行，否则会缩短设备的使用寿命。

5、 严禁野蛮操作，工件应轻放，避免冲击。

6、 工件排放应留有空隙，有利于热量的流通，使工件受热均匀。

7、 电炉使用时操作人员不得擅自离开岗位，必须随时注意电炉的工作状况是否正常，

8、 电炉在进行装卸工件时，必须先切断加热元件电源，以保证操作人员的安全。

9、检查热电偶的使用情况，防止因热电偶的损坏造成测温不

正确而影响产品质量。