电子显微镜（如扫描电子显微镜 SEM、透射电子显微镜 TEM）作为微观观测与分析的核心设备，可实现纳米级甚至原子级分辨率成像，但其成像质量极易受外界振动干扰。电子显微镜隔振技术通过抑制环境振动与设备自身振动对观测系统的影响，保障电子束聚焦稳定性与样品定位精度，是半导体检测、材料科学、生命科学等领域获取高质量微观图像的关键支撑。
从振动干扰来源来看，电子显微镜面临的振动主要包括两类：一是外界环境振动，如实验室地面传来的人员走动、设备运行（空调、水泵、离心机）、车辆通行等低频振动（通常 0.1-100Hz），这类振动会导致电子束与样品相对位置偏移，造成图像模糊、分辨率下降；二是设备自身振动，如镜筒内部电机运转、真空泵工作产生的高频振动，会干扰电子光学系统的稳定性，影响成像质量。因此，隔振技术需针对不同频率、不同来源的振动，采用 “主动 + 被动” 结合的方式实现精准抑制。
在核心技术方案上，电子显微镜隔振系统主要分为被动隔振与主动隔振两类。被动隔振通过弹性元件（如空气弹簧、橡胶减振器、金属弹簧）与阻尼元件组成减振结构，利用弹性元件吸收振动能量、阻尼元件耗散振动，可有效抑制中高频振动（>10Hz），具有结构简单、成本低、可靠性高的特点，常用于对振动要求较低的台式电子显微镜或辅助设备（如样品台）。主动隔振则基于传感器、控制器与执行器的闭环控制原理：振动传感器（加速度传感器、位移传感器）实时采集振动信号，控制器通过算法分析振动频率与幅值，驱动执行器（压电陶瓷、电磁驱动器）产生反向振动，抵消外界干扰，可精准抑制低频振动（<10Hz），适配高分辨率 TEM、冷冻电镜等对振动极为敏感的设备，部分系统可将振动控制在纳米级以下。
