柜式超临界干燥仪一键全自动，开启干燥+清洗一体流程
核心的自动升降釜盖系统，无缝对接产线机械臂从晶圆入釜到高压密封，全程无需人工干预，真正融入高速连续的生产节拍
智能工艺控制，确保批次复现
内置智能程序，覆盖从流体注入、压力平衡到排气的全过程一键启动即可静待结果所有数据均可无缝对接到您的生产执行系统(MES)，实现从晶圆到数据的可追溯性
三重连锁防护，安全不妥协
柜式超临界干燥仪配备机械安全阀、电子报警、程序互锁三重独立安全系统确保操作人员与实验室环境的安全
半导体产线级设备基准
全流程无尘组装生产，不锈钢壳体及EP级工艺流体管路，*大化提升产线良率
标配产线级0.05um过滤器，确保内外均无污染
柜式超临界干燥仪设备结构特点:
柜式一体化设计：采用立式或卧式柜体结构，内部集成高压反应室、温控模块、流体循环系统及安全装置。相比桌面型设备，柜式机型提供更大的操作空间，支持批量处理大尺寸样品（如半导体晶圆、生物组织块等）。
模块化组件配置：包括可拆卸的样品托盘、多层搁架系统以及自动化机械臂装载机构，便于同时处理多个样品并优化空间利用率。部分型号还配备在线监测传感器，实时反馈腔内温压变化。
安全防护体系：内置多重过压保护阀、紧急泄压装置及泄漏检测系统，确保高压环境下的操作安全性。例如，当压力超过设定阈值时，系统会自动触发安全协议并关闭流体供应。
