低温等离子灰化仪又称等离子有机质去除仪用于煤与生物质样品的低温灰化,是SEM和TEM中的有机样品刻蚀,塑料品的表面处理以及有机材料的微观灰化。选择时需要结合具体的应用场景、预算及性能需求,
华仪行(北京)科技有限公司致力于为用户提供专业的表面处理整体解决方案,专注于材料表面处理技术,是一家致力半导体领域仪器设备:等离子清洗机、紫外臭氧清洗机、匀胶机、烤胶机的厂家,该企业生产技术力量雄厚,产品质量有保障:
◆改性(等离子清洗机、紫外臭氧清洗机)
◆去胶(等离子去胶机)
◆蚀刻(等离子刻蚀机)
◆涂层(等离子溅射镀膜机、匀胶机、烤胶机)
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华仪行(北京)科技有限公司所经营的低温等离子灰化仪具备以下特点:
◆7寸彩色触摸屏中英文互动操作界面,自动控制监测工艺参数状态,20个配方程序,工艺数据可存储追溯。
◆PLC工控机控制整个清洗过程,手动、自动两种工作模式。
◆石英真空舱,真空管路系统采用316不锈钢材质,耐腐蚀无污染。
◆采用质量流量计,实现对气体输入精准控制,改变传统浮子流量计控制气体流量不准确问题。
◆HEPA高效过滤,气体返填吹扫,防止二次污染。
◆采用花洒式多孔进气方式,改变传统等离子清洗机单孔进气不均匀问题
◆灰化过程温度低,不破坏样品的矿物成分与结构的完整性。
◆旋转腔在真空环境旋转,带动样品翻滚,对样品的灰化均匀且充分。
◆自动化程度高,可全自动连续运行10小时以上,无需人工干预。
◆可使用转瓶装载样品也可以使用传统的石英舟装载样品进行灰化,一机两用,性价比高。
