迷你手动探针台是一款专门针对半导体芯片研发、测试而设计的产品。手动探针台这款探针冷热台拥有高精度的探针位移平台,具有良好的真空性能和精准的温控系统。
产品参数:
1.温度范围: -196℃~400℃
2.加热区: φ27mm
3.探针行程: 13mm
4.探针位移精度 1μm
5.探针针尖直径(默认) 100μm
6.物镜工作距离: 15mm
7.通光孔直径: 2mm
8.最大升温速率: 0~60℃/min
9.观察窗: φ40mm
10.温控精度: 0.1℃
11.极限真空: 1pa(机械泵),5x10^(-3)pa(分子泵)
12.支持反射/透射模式
13.支持改动和定制
14.上位机软件控制
---结构特性:
样品台尺寸
φ27mm*
样品台材质
铜质*
纯银*
外形尺寸
460x290x82mm*
样品腔高度
12mm*
腔室
真空
---基本配置
冷热台x1、温控系统x1、低温系统x1、液氮罐2Lx1、温控软件
---选配
电脑主机/平板电脑/触控屏/安装支架/真空系统/其他定制
---备注
以上为默认参数 * 为可定制项
---其他可选型号
按需求进行配置