广告招募

当前位置:全球贸易网 > 技术中心 > 使用手册

桌上型半自动显影机产品详情

2025年05月28日 09:26:15      来源:工业之家 >> 进入该公司展台      阅读量:36

分享:

桌上型半自动显影机MSD-150D用于对显影均匀性和一致性要求较高的表面处理工艺,适合硅片、磷化铟、碳化硅、氮化镓等。主要应用于4、6寸晶圆及方片.适合高校、研究所和企业客户。

本司也提供8寸、12寸桌上型显影机,更多功能如吹气、背洗等请咨询。

桌上型半自动显影机技术规格:

项目

规格

 

 

主体

外壳材质:镜面不锈钢

处理样品尺寸:6寸晶圆以内

承盘:PTFE

马达:

转速:20-3000 R.P.M

摇臂:自动

操作界面:7寸触摸屏

 

显影装置

药液装置:

显影 x1(控温可选)

DIW  x1

 

 

控制系统

系统: PLC

使用接口:7寸触屏

配方:手动和自动模式

编程 : 50 组 20 步

 

 

安全装置

晶圆承盘真空渗液保护:

真空检知:

数字设定:真空值下限保护

运行结束报警提示

 

 

附件

真空泵x1

显影罐x1

去离子水罐x1

废液桶x1

真空吸盘x1

 

 

 
版权与免责声明:
1.凡本网注明"来源:全球贸易网"的所有作品,版权均属于全球贸易网,转载请必须注明全球贸易网。违反者本网将追究相关法律责任。
2.企业发布的公司新闻、技术文章、资料下载等内容,如涉及侵权、违规遭投诉的,一律由发布企业自行承担责任,本网有权删除内容并追溯责任。
3.本网转载并注明自其它来源的作品,目的在于传递更多信息,并不代表本网赞同其观点或证实其内容的真实性,不承担此类作品侵权行为的直接责任及连带责任。其他媒体、网站或个人从本网转载时,必须保留本网注明的作品来源,并自负版权等法律责任。 4.如涉及作品内容、版权等问题,请在作品发表之日起一周内与本网联系。