2025年04月30日 09:07:50 来源：哈尔滨芯明天科技有限公司 >> 进入该公司展台 阅读量：34
纳米光刻是一种全新的纳米图形复制方法，实质是将传统的模具复型原理应用到微观制造领域。首先计算机将BMP图转化成灰度图，然后再通过二维扫描台，带动镀膜镜片对读取的图像信息进行优化，同时控制激光器及扫描台，完成图像的纳米定位加工。纳米光刻技术是制作纳米结构的关键，具有广阔的应用前景。
利用芯明天P12系列XY二维扫描台，可带动镀膜镜片对读取的图像信息进行优化，同时控制激光器及扫描台，二者配合完成图像的纳米精度加工。
P12.XY100二维压电扫描台
P12.XY100为二维直线扫描台，内置高可靠性压电陶瓷，运动直线性好，台体中心圆形通孔孔径可选25mm 或35mm，满足精密加工、扫描显微等应用。
开/闭环曲线
注：施加至压电陶瓷的电压约为输入控制电压的12倍。
闭环线性度
技术参数
型号：P12.XY100
运动自由度：X、Y
行程范围@120V：80μm/轴
行程范围@150V：100μm/轴
闭环传感器：SGS
通孔尺寸：Ø25/Ø35mm
闭/开环分辨率：7/4nm
闭环线性度：0.1%F.S.
闭环重复定位精度：0.05%F.S.
推/拉力：25/8N
刚度：0.2N/μm
空载谐振频率：X180/Y230Hz
闭/开环空载阶跃时间：15/0.8ms
承载：0.7kg
静电容量：1.8μF/轴
材质：钢、铝
重量：200g
