XD602系列压电纳米定位台是XYZ三维运动压电平台，它的行程范围为200μm/轴，四个角位分别留有安装固定孔位，易于机构安装。负载安装平台留有10个M3固定位，适于不同结构负载的安装。它的外观较薄，非常易于系统集成。

特点

•XYZ三维运动 •行程200μm/轴 •超薄体积 •可选闭环版本获取更高精度

开环与闭环版本可选

XD602压电位移台可以选择开环或闭环版本，闭环版本内部配有高分辨率及快速响应的应变传感器（SGS），配备在驱动机构的合适位置，它可向控制器反馈高带宽、高精度的电压信号。传感器使用全桥配置以消除热漂移，使得该纳米定位台实现较高的线性度与重复度。

配套控制器

XD602系列压电位移台，可搭配芯明天E70系列压电控制器使用，模拟与数字控制，体积小巧，高性能搭配。

技术参数：

型号：XD602

运动方向：X/Y/Z

标称行程范围（0 ~120 V）：160µm

行程范围（0~150V）：200µm

传感器类型：SGS

开环分辨率：8nm

闭环线性度：0.2%F.S.

闭环重复定位精度：0.1%F.S.

空载谐振频率：270Hz

加载100g负载谐振频率：110Hz

50%行程空载使用频率：20Hz

台体材料：铝

工作温度范围：0~50 ℃

承载能力：300g