芯明天三维压电偏转系统是由二维θx,θy运动压电偏转镜和一维Z向直线运动压电纳米定位台组合而成，θx, θy轴偏转角度可达43mrad/轴，Z向直线行程可达500μm，内部集成高精度传感器，采用柔性铰链设计、无机械摩擦，分辨率高，适用于高精度大行程的扫描及定位使用。

产品运动示意图

应用

• 光学 / 光束稳定

• 激光扫描与光束偏转

• 图像处理与稳定

• 光学捕获

• 激光调谐

• 光过滤 / 光开关

• 高精度位置调整

高分辨率、高稳定性

该系统体积小巧，结构紧凑，内部装配高可靠性压电促动器，集成在复杂的、FEA建模分析的柔性铰链导向系统。压电促动器是叠堆共烧型压电陶瓷，与传统的压电促动器相比，可提供更好的性能及可靠性，适合工业应用。

阶跃时间

θx, θy 二维偏转运动满幅值的响应时间约为15ms。

闭环传感定位精度高

配置高分辨率传感器，对位置实时检测并反馈到压电控制器，配套芯明天E70系列压电控制器通过PID算法调整电压修正位移，从而实现高精度定位。

技术参数

运动自由度：θx, θy 偏转，Z 轴升降

θx, θy 偏转角度：43mrad@150V

Z向行程：500μm@150V

传感器类型：SGS

θx, θy 偏转分辨率：1μrad(~0.2")

Z向直线分辨率：20nm

闭环线性度：0.02%F.S.

闭环重复定位精度：0.014%F.S.

空载谐频（θx, θy ）：1.5kHz

空载谐频（Z）：0.29kHz

重量：985g

芯明天压电偏转镜可与芯明天任意平台配合使用，组合成多轴精密定位台，用于多维精密直线与偏转定位操作。