芯明天压电物镜定位器以压电陶瓷为驱动源，带载物镜做纳米级步进运动，机构采用无回差柔性铰链并联导向机构设计，物镜补偿量小，具有良好聚焦稳定性。芯明天压电物镜定位器在结构上可分为三种类型结构：高动态型、大行程型及大负载型。

高动态压电物镜定位器

该系列压电物镜定位器采用的平行四边形设计原理，高刚度，可带200g负载高速运动。

大行程压电物镜定位器

该系列产品是大行程、高速、压电陶瓷驱动的聚焦显微扫描装置，产品体积小巧，位移行程可达500μm。

大负载压电物镜定位器

大负载压电物镜定位器具有承载力大、响应速度快、Z轴运动直线性好等特点，可带500g负载高速运动。

应用领域

光学显微成像：

显微光学成像，是指透过样品或从样品反射回来的可见光，通过一个或多个透镜后得到微小样品的放大图像的技术。压电物镜定位器可带动物镜头做Z向精密高速运动，可使观测精度达纳米级。

白光干涉：

白光干涉技术以可见光为光源，光源发出的白光通过干涉物镜后在半透射光学平面反射一半光强，另一半光强透射后照射在量测物表面并反射再次进入干涉物镜，与原光学平面的反射光产生干涉。搭配芯明天P73系列压电物镜定位器，准确性高可达纳米解析度，垂直扫描高度可达500μm。

晶圆切割：

激光经过透镜聚焦，再通过压电物镜定位器调整焦点的位置，使焦点准确的定位在晶圆待切割部位，被切割部位温度升高，然后使之熔化或汽化。随着激光与被切割材料的相对运动，在切割材料上形成切缝从而达到切割的目的。