芯明天压电精瞄镜是以压电陶瓷作为驱动元件，内部采用无回差柔性铰链并联导向结构设计，外部机械结构通过内部多支压电陶瓷的伸缩来实现单轴或多轴角度偏转运动，补偿量小，确保偏转镜具有的运动精度和超高的稳定性，通过内置高精度传感器进行闭环控制，实现亚微弧度分辨率及微弧度定位精度。

P22系列

运动自由度：θx

光束偏转范围：8mrad

分辨率：0.1μrad

空载阶跃时间：0.8ms

P33系列

运动自由度：θx θy

光束偏转范围：27mrad

分辨率：0.02μrad

空载阶跃时间：1ms

P34系列

运动自由度：θx θy

光束偏转范围：12mrad

分辨率：0.02μrad

空载阶跃时间：1ms

P31系列

运动自由度：θx θy

光束偏转范围：50mrad

分辨率：1μrad

空载阶跃时间：3.2ms

P35系列

运动自由度：θx θy

光束偏转范围：50mrad

偏转分辨率：1μrad

空载阶跃时间：0.88ms

P32系列

运动自由度：θx θy Z

光束偏转范围：12mrad

直线行程：40μm

偏转分辨率：0.05μrad

直线分辨率：0.5nm

空载阶跃时间：2ms

P36系列

运动自由度：θx θy Z

光束偏转范围：1.6mrad

直线行程：12μm

偏转分辨率：0.02μrad

直线分辨率：0.1nm

空载阶跃时间：0.5ms