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压电偏转镜的特点说明

2025年04月28日 08:54:25      来源:哈尔滨芯明天科技有限公司 >> 进入该公司展台      阅读量:26

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压电偏转镜的特点说明
  产品特点:
  外形尺寸: 体积小巧、结构紧凑、φ25mm*56mm
  行程:6mrad 分辨率:0.05μrad
  采用无摩擦、无回差紧凑的差分式并联结构柔性导向系统,具有超高的导向精度
  内置高性能压电陶瓷、高可靠性
  内置位移传感器进行全闭环位置反馈,开/闭环可供选择,可提供安装及出线方式
  压电偏转镜是以压电陶瓷作为驱动的倾斜镜,压电倾斜镜内部采用无回差柔性铰链并联结构,采用有限元分析柔性铰链结构,紧凑的差分并联结构柔性导向系统具有超高的导向精度,具有高刚性、高负载、无摩擦、免维护等特点,压电偏转镜内置精密位移传感器进行全闭环位置反馈,确保偏转镜具有的运动控制精度、分辨率和稳定性,可以达到纳米量级,定位稳定时间仅为毫秒量级。紧凑型设计,可更好的集成光学系统中。
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