P16系列压电扫描台为XY轴平移扫描台，机构放大设计原理，中心具有通孔，该系列扫描台有行程可达105μm，开环、闭环可选。方形移动台面，便于与外部机械结构安装连接。

特点

•位移可达105μm

•承载能力1.5kg

•闭环重复定位精度高

•开环、闭环可选

•真空版本可选

频率负载曲线

刚度大、谐振频率高、负载能力大

P16系列压电扫描台，采用机构放大设计原理，内置高性能压电陶瓷，扫描台分别可实现50μm 、100μm、105μm 的运动行程，一体式结构设计XY 轴运动无耦合，优异的结构可承载1.5kg 的负载，空载谐振频率达700Hz。P16.XY100 版本为中心对称运动方式，需配套带有一通道恒压的三通道压电控制器。

P16二维压电扫描台中心通孔尺寸Ø20mm或Ø43mm，该系列压电扫描台以其小体积、大负载、高动态等特性广泛应用于显微成像等领域。

应用实例

P16.XY二维压电扫描台以其大承载、高频率等特点，应用于光路调整实验中，带载镜片做XY轴精密运动。

技术参数

型号：P16.XY100

运动自由度：X、Y

行程范围（0~120V）：80μm或±40μm/轴

行程范围（0~150V）：100μm/轴或±50μm/轴

闭环传感器：SGS

通孔尺寸：Ø20mm

闭/开环分辨率：10/5nm

闭环线性度：1%F.S.

闭环重复定位精度：0.5%F.S.

俯仰/偏航/滚动：<25μrad

推/拉力：30/30N

运动方向刚度：0.5N/μm

空载谐振频率：600Hz

闭/开环空载阶跃时间：10/1.6ms

承载能力：1.5kg

静电容量：3.6μF/轴

材质：钢、铝

重量：220g