在涉及到微米级小孔的超快激光加工应用中集成压电偏转镜，具有加工精度高、加工速度快等特点。已广泛应用于航天器件微小孔加工、异形孔加工等领域。

P33.T8S系列压电偏转镜是具有快速响应且体积紧凑等特点的偏转平台，提供顶端面的高精度角度运动，与其他执行器相比，柔性铰链导向的压电偏转平台可提供更高的加速度，使阶跃响应时间在亚毫秒范围。P33.T8S在10mrad满行程工作频率达50Hz，可连续工作15天。

特点

• 二维θx、θy 偏转

• 偏转范围可达12.5mrad

• 亚毫秒响应时间

• 闭环定位精度高

• 温度稳定性高

高动态 闭环精度高

在机械结构的合适位置采用应变传感器来得到高稳定性及定位精度，他们提供了较高的带宽并向控制器发送定位反馈信号，传感器以桥式配置连接以消除热漂移从而确保优质的稳定性。

技术参数

型号：P33.T8S

运动自由度：θx、θy

行程范围（0~120V）：10mrad（≈2060”）/±5mrad(≈±1030”)

行程范围（0~150V）：12.5mrad（≈2500”）/±6.25mrad(≈±1250”)

闭环传感器：SGS

闭环分辨率：0.5μrad(≈0.1”)

闭环线性度：0.25%F.S.

闭环重复定位精度：0.02%F.S.

空载谐振频率：3.1kHz

闭环空载阶跃时间：8ms

静电容量：14.5μF/轴

材质：钢

重量：340g