图像处理与稳定 • 扫描显微

• 干涉/计量 • 表面检测

• 半导体测量 • 光学计量

应用实例-纳米光刻

在纳米光刻实验中需要对镜片进行高速微纳米级的精密移动，从而优化镜片读取的信息。芯明天P18.XY300以其大位移、高精度、高稳定性等优点应用于纳米光刻实验。

特性

• 大位移370μm

• 大承载3.5kg

• 通孔直径：Ø35mm

• 闭环重复定位精度高 • 响应速度快

1~3维扫描台

P18系列压电扫描台包括X/XY/XYZ三种结构形式，可以 满足1~3维大行程扫描或定位的应用需求。

大位移、大承载、高刚度、高频响

P18系列压电扫描台内置高可靠性压电陶瓷驱动，可以 实现大370μm的扫描范围，运动直线性好，可选择闭环版 本获得优异的线性度与重复定位精度。

P18采用的结构设计，具有大刚度、大出力、大承 载等特点，大承载达3.5kg，空载谐振频率达600Hz，配 套芯明天大功率控制器响应时间可达5ms，是精密加 工、半导体制造、扫描显微等应用。