LED外延片生产过程中金属有机物化学气相沉积(MOCVD)工艺会产生大量废气，其主要成分为氨气NH3、氢气H2，二者均是重要的生产原料，回收利用价值高，不能直排，须通过尾气处理设备进行无害化处理，方可通入大气。

目前，工业上尾气处理设备的常用的方法有燃烧法、水吸收法和化学法等，以及这些方法的组合应用等。

1、燃烧法

MOCVD废气中的H2、氢化物、金属有机化合物等可采用燃烧法处理，同时氨气在高温下发生氧化分解反应,生成无害的CO2, N2和H2O等。

2、水吸收法

水吸收法是MOCVD废气处理的方法，废气中少量的MO源成分经水吸收后可去除;同时NH,易被吸收形成氨水,但仍有少量残留,不能直接排放,且H2需要进一步处理。

3、化学法(酸吸收法)

化学法采用化学试剂与废气中的氨发生化学反应生成较为稳定的化学物质后沉淀分离,使得废气中的NH3得到脱除。

关于各类废气处理方法和尾气处理设备，皆有优缺点和适用范围。如以上三种方法都可使废气达标，但在资源回收上都各有些欠缺：（1）燃烧法不能回收NH3和H2，资源浪费严重；（2）水吸收法能得到低浓度氨水产品，但一般需提浓处理后才能回用于工业生产；（3）酸吸收法回收得到铵盐溶液，需进--步分离和提纯才形成铵盐产品，而铵盐分离提纯过程存在能耗大、费用高等问题，且铵盐品质有待提高。

在尾气处理设备中还有一种Local Scrubber的小型尾气处理时设备，处理小流量废气，为就近初步处理工艺废气，避免废气在管道中滞留发生变化导致事故，有时也作为废气应急设备。其中，吸附式的尾气处理设备就是采用种类多样的吸附材（吸附剂）来吸附所要处理废气中的气体组分，有几乎可处理所有废气，处理效率高、处理过程中无明火、无废水和低耗能等特点。

综上，LED外延片生产过程中金属有机物化学气相沉积(MOCVD)工艺废气中含有大量NH3和H2，须通过尾气处理设备中处理方法净化后方可排入大气。最后，感谢您的阅读！