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GCIB团簇离子枪产品介绍

2025年03月27日 09:36:17      来源:工业之家 >> 进入该公司展台      阅读量:10

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GCIB-10S 离子源系统是一种高性能10千伏气体团簇离子束,用于快速、低损伤溅射和更高质量的表面分析。

GCIB 10S提供了大量有用的功能,包括实时集群大小测量和内置样本电流成像系统,以帮助您充分利用实验。 

GCIB-10S 离子源系统具有完整的泵送系统和单独软件,是一种栓接式升级,将集束束溅射的力量引入现有的真空仪器,如XPS、SEM和SIMS。

       

 

主要参数


 

主要应用                 溅射            
光斑尺寸                 250 µm                
扫描范围                 7.5 x 7.5 mm                
能耗范围                 1 – 10 kV                
电流范围                 60 nA                
法兰至机头长度                 143 mm               
推荐工作距离                 50 mm                
电源装置                 3U x 19’’ rack mountable unit    
电源要求                 110-240VAC 13A 50/60Hz                
软件要求                         PC running Windows 10 or later                   
集成法兰规格                 NW 63 CF                
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