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真空等离子清洗机该如何选型

2025年03月17日 09:27:04      来源:昆山琦凡精密仪器有限公司 >> 进入该公司展台      阅读量:6

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   在当今这个时代,随着科技的飞跃发展,新科技产业链的迅速发展趋势,其运用愈来愈广,低温等离子清洗技术的运用也愈来愈广。低温等离子清理技术性对产业发展和人类发展史危害较大,首先推荐电子器件资讯工业,特别是在是半导体业与光学工业生产。随之愈来愈多应用领域到真空等离子清洗机,如何选择合适自身的真空等离子清洗机就变成了大家的一个难题。那么真空等离子清洗机该怎样选型呢?
  1、腔体材料的选择
  现阶段普遍的腔体材料有下列几类,石英腔体,不锈钢板腔体,铝合金型材腔体,三种腔体都有各的优点,石英腔体溫度低,且不容易产生反映。
  2、机械泵的选择
  是选择国内的泵,这是的,是干泵还是油泵,是单极泵,还是双极泵,每一种机械泵的选择能够依据顾客的具体须来选择,这儿也不做过多的过多阐释。
  3、頻率的选择
  常用的等离子体激发频率有三种:激发频率为40kHz的等离子体为超声等离子体,13.56MHz的等离子体为射频等离子体,2.45GHz的等离子体为微波等离子体。选用40KHZ等离子再加入适当的反应气体,可以有效去除胶质残渣、金属毛刺等等,因为40KHz为较早的技术,其射频匹配后能量消耗过大,实际作用到清洗物上的能量不足原有能量的
  4、供气的选择
  普遍的真空等离子清洗机全是两路口汽体安全通道,可是这并不可以考虑全部的解决要求,假如必须大量的反映汽体,那麼汽体安全通道还要适度提升,这一都是依据顾客的具体要求来选择几路汽体安全通道。
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