概述

20世纪80年代，Houk和Gray分别独立报道了用电感耦合等离子体(ICP)做离子源的质谱分析法，由ICP可提供很好地无机物分析所需的离子源，在ICP与质谱仪连用的接口问题解决之后，使ICP-MS法在无机元素超痕量分析上获得了巨大的成功，并且发展十分迅速。

电感耦合等离子体质谱仪（ICP-MS）是现代物理与化学领域内使用的一种极为重要的工具，ICP-MS性能优异，尤其在测量低浓度和同位素丰度的样品时更具优势，其应用领域很广。

如半导体和陶瓷材料、环境样品、结合使用同位素示踪剂的生物材料、高纯试剂和金属、原子核材料、地质样品和食品等。下面程诚小编就从几个方面带大家了解一下这种神通广大的测试仪器。

原理及结构

样品由蠕动泵送入雾室，气溶胶在常压和约7000K高温的ICP通道中被蒸发、原子化和电离，离子在加速电压作用下，经采样锥和分离锥，被加速、聚焦后进入质谱仪，不同质荷比离子选择性地通过四级质量分析器，用离子检测器检测。

   一个标准的ICP-MS仪器分为三个基本部分：

（1）ICP（样品引入系统，离子源）

（2）接口（采样锥，截取锥）

（3）质谱仪（离子聚焦系统，四级杆过滤器，离子检测器）

应用

该技术的优势包括:

元素覆盖范围宽：包括碱金属、碱土金属、过渡金属和其它金属类金属、稀土元素、大部分卤素和一些非金属元素；

性能好：灵敏度高，背景信号低，检出限极低；

分析速度快：由于四极杆分析器的扫描速度快，每个样品全元素测定只需大约4分钟；

线性范围宽：一次测量线性范围能覆盖9个数量级；

ICP-MS由于在速度、灵敏度、动态范围和元素测量范围中的优势而处于无二的地位。能够快速测量高浓度的元素(ppb到ppm级)的特点使其成为AES的可行的替代方法

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