固体绝缘在电场作用下，会产生极化，并有泄漏电流，引起损耗发热，当电场强度超过某值时，泄漏电流剧增，发热严重，在绝缘中会形成导电通道，而使绝缘破坏，这种现象，称为固体绝缘的击穿。

固体绝缘击穿后，会出现烧痕、裂缝或熔化的通道，去掉外加电压后，也不同于气体或液体绝缘那样能自己恢复其绝缘性能。固体绝缘的击穿，有电击穿、热击穿及电化学击穿等形式。

固体绝缘的击穿形式

1、电击穿

在强电场作用下，绝缘材料内带电质点剧烈运动引起分子结构的破坏。

特点是，电压作用时间短、击穿电压高，击穿场强与电场均匀程度有关，但与周围温度及电压作用时间几乎无关。例如脉冲击穿。

2、热击穿

在强电场作用下，绝缘材料内部由于介质损耗而发出热量，来不及散发出去，从而使电介质内部温度升高，导致结构破坏而击穿。

热击穿与电击穿相比，电压作用时间长，击穿电压较低，绝缘温升高，击穿电压随温度上升而下降，但与电场均匀程度关系不大。

3、电化学击穿

电化学击穿，是由于游离，发热和化学反应等因素的综合作用而导致的击穿。

电化学击穿是在电压长期作用下形成的。击穿电压往往很低，它与绝缘材料本身的耐游离性能，制造工艺，工作条件等有很大关系。