真空机组是一种将多种真空泵与相应的真空元件按照其性能要求组合起来构成的抽气装置。它广泛应用于需要不同真空度的工业和科学研究中，以满足各种复杂的真空应用需求。
真空机组由真空泵、真空计、真空阀门、真空管道和控制元件等部分组成。这些组件协同工作，以实现对真空环境的精确控制和调节。根据不同的应用需求，真空机组可以配置不同类型和数量的真空泵，以及相应的辅助设备。
真空机组根据所能达到的真空度和工作特性，可以分为多种类型，主要包括：
1、低真空抽气机组：主要特点是工作压力高、排气量大，但抽速相对较低。它适用于真空室的粗抽以及放气量很大、工作压力高的真空输送、真空浸渍、真空过滤、真空干燥、真空脱气等装置中。
2、中真空抽气机组：适用于需要大抽速和获得中真空的各种真空系统中。它常用的主泵有油增压泵、罗茨泵（机械增压泵）等，可广泛用于镀膜机、真空冶炼、真空热处理、化工、医药、电工、焊接等行业。
3、高真空抽气机组：工作在分子流状态下，工作压力较低（10-1Pa~10-5Pa），排气量小但抽速大。机组的主泵通常为扩散泵、扩散增压泵、分子泵、钛升华泵、低温冷凝泵等。这些泵不能直接对大气工作，因此需要配置粗抽泵和前级泵。
4、超高真空抽气机组：工作在10-5Pa~10-10Pa的超高真空压力范围内，对真空室的材料、漏气率、烘烤温度等要求高。机组的主泵需要具有高的极限真空度和一定的抽速，并且能够承受高温烘烤。
