分子泵机组是一种在真空处理领域广泛应用的设备，其核心功能是通过排除气体分子来创建高真空环境。通常由分子泵、前级泵（如根泵、机械泵等）以及必要的辅助设备组成。分子泵是机组的核心部件，它通过高速旋转的转子将动量传递给气体分子，使气体分子获得定向速度并被压缩、驱向排气口，最终被前级泵抽走。前级泵则负责将分子泵难以直接排出的重分子气体或初始大气压下的气体抽出，为分子泵创造合适的工作条件。
分子泵机组的工作原理主要基于动量传递和气体分子的碰撞原理。在分子泵内部，高速旋转的转子叶片与气体分子发生碰撞，使气体分子获得定向速度并沿着特定的路径运动。这些气体分子在泵内反复碰撞和扩散后，最终被压缩并驱向排气口。同时，前级泵不断将分子泵排出的气体抽出，以保持泵内的高真空状态。
分子泵机组的技术特点：
高真空度：分子泵机组能够创造高的真空环境，极限压力可达10-6至10-8 Pa甚至更低，满足精密制造和科学研究等领域的严苛要求。
快速启动：分子泵机组启动迅速，能够在较短时间内达到所需的真空度，提高生产效率。
无污染：分子泵机组在工作过程中无需使用油或其他润滑剂，因此不会对环境造成污染，特别适用于对清洁度要求高的场合。
稳定性好：分子泵机组结构紧凑、设计合理，能够在各种复杂工况下稳定运行，确保真空环境的持续性和可靠性。
