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聚焦智能控制、测量与信号处理 IEEE-ICMSP 2022在杭州开幕
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2023年09月13日 11:53:06 来源:上海仲圣机电设备有限公司 >> 进入该公司展台 阅读量:2
硅谐振传感器原理硅谐振传感器是对单晶硅采用技术完善的3-D半导体微机械加工技术制作而成。在传感器上微加工两个H型振子,均具有高频输出。施加压力时,H型振子同时受力,一个受到压力,另一个受到拉力。谐振频率发生相应的变化,从而产生与作用压力直接成比例的高差压输出(kHz)。这一简单的时间函数由微处理器管理。
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