纳米位移平台集成了一个高分辨率(12.5nm)非接触式线性编码器,它为闭环的伺服系统工作操作提供了精密反馈, 它的标准配置就可以提供纳米精度的定位.
使用能够了精密的滚珠导向系统确保了位移平台高精度性能和严格的轨迹控制。
纳米位移平台也适合OEM使用,它具有较低抛面和较小尺寸，采用模块化设计，用户可堆叠使用创建多轴多部件系统。使用了非接触式直接驱动技术，提供坚固，**，高速的定位，满足高频率大工作量的需要。纳米定位平台使用了先进的无铁直线电机直接确定技术，确保*优异的纳米级定位性能。提供了高速度，高精度，高分辨率，高性能的表现。它与传统的丝杠驱动或压电驱动相比，具有更大的工作效率和吞吐量。
参数
行程(mm):25和50mm(单轴或双轴)
驱动系统:无铁芯直线电机或陶瓷伺服电机
*大加速度:由负载决定
*大速度:200mm/s (无负载时)
*大推力:24N
*大负载:2Kg
精度:+/-1um/25mm
TTL分辨率:1-100nm/脉冲
构造材料:铝合金主体, 灰色氧化镀膜
重复精度:5倍精度
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