太赫兹时域光谱仪的无损检测应用是采用太赫兹时域光谱成像法，优点是可以在采集设备涵盖的整个太赫兹频段频谱信息及空间信息，从而可以解析出每个频点的太赫兹成像，信息量很大。除了自身完成成像功能，还可以找到特定材料的特定适合频点，为今后商品化的单频太赫兹成像实验或设备提供实验指导。此时需要注意，波长越长（即频率越低）则透过性越好；波长越短（即频率越高）则极限空间分辨率越高；
其次尽可能利用太赫兹辐射峰值频段进行分析则信噪比容易得到保证；另外在无损检测时如果某物质或某缺陷在某频率下有强烈吸收或反射则在此频率下的成像信噪比则更好；再次是太赫兹辐射波长接近于毫米，在某些薄片材料界面内反射如果和半波长成整倍数则会产生干涉，在处理时可以回避；总的来讲，TDS-THz的频谱覆盖范围越宽则灵活性及极限空间分辨率可以越高。言及极限空间分辨率，因为市场上所有的步进电机扫描台的位移分辨率均为微米量级，远远高于太赫兹波段的百微米到毫米的物理衍射极限，所以商家标注的扫描台位移分辨率对于太赫兹成像是不具备实际意义的，建议和厂家索要实际太赫兹光谱成像结果予以评估，达到百微米量级均被认为合格。
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