P63.XZ二维XZ向压电纳米定位台 6.8μm价格直驱压电平移台，是二维XZ轴运动压电定位台，采用压电陶瓷直驱机构的设计原理，具有体积小、无摩擦、响应速度快等特点，配置高精度传感器，可以实现纳米级分辨率及定位精度，具有非常高的可靠性，在精密定位领域中发挥着重要的作用。
特性 P63.XZ二维XZ向压电纳米定位台 6.8μm价格
• 1~3维自由组合 • 位移行程6.8μm • 亚毫秒响应时间 • 承载0.5kg • 重复定位精度可达纳米级
小体积、高精度、响应速度快 | 传感器类型 | 频率负载曲线 | |
P63系列压电纳米定位台重要的特点是精密且体积小巧，P63.XZ二维的尺寸仅为30×30×33mm（X轴尺寸为30×30×21mm），易于集成到任何扫描仪器中。 P63系列纳米定位台是高精密纳米定位系统，是为AFM、SPM、STM等显微扫描纳米操作等应用而设计的，具有低惯性，响应时间可达0.3ms，可配置高精度闭环传感器进行高分辨率高速扫描。 |  |  |
应用 • 光纤端面检测 • 纳米压印 • 纳米计量 •微操控 • 纳米光刻 •干涉法/ 扫描显微/纳米定位 •生物技术/半导体技术 •质量保证测试 •微加工/精密控制 应用实例：纳米切削 P63三维纳米定位台已经应用于基于SEM在线纳米切削平台切削力测试实验中。
| 谐振频率与负载曲线
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