高压柱形压电陶瓷叠堆 电压500V1000V高压叠堆压电陶瓷是将单晶体压电陶瓷片与金属电极层交替叠堆粘接而成，标准驱动电压0~500V，0~1000V，高压叠堆陶瓷因其出力大，静电容量低等特点，适用于大负载以及加载预紧力后的动态的应用。

高压柱形压电陶瓷叠堆 电压500V1000V高压柱形叠堆压电陶瓷外径大出力大，出力可达50000N，长度大位移大，位移可达105μm。

特性

• 位移105μm • 500V、1000V驱动电压 • 出力大 • 静电容量低

• 多种型号可选 • 响应速度快 • 真空兼容

工艺结构

高压叠堆压电陶瓷是将单层压电陶瓷片进行叠堆粘接，再利用金属片将陶瓷片之间的电极连接，因此高压压电陶瓷为复合材料结构。相对于低压叠堆压电陶瓷，相同体积，静电容量比较低，在预载力的条件下动态性能更好。

工艺特点

• 单层陶瓷厚度0.5mm • 静电容量/cm3: 100nF • 热膨胀系数：-5ppm/°C

应用

• 纳米定位 • 主动振动控制 • 隔震平台 • 半导体加工测试

• 光学调整 • 腔调谐