E01.Cap 电容式测微仪是毫米级测量范围、纳米级测量精度的仪器。测微仪包括电感测微仪、电容测微仪、激光测微仪三种类型，主要用于高精度测量长度、厚度、深度、锥度等应用。
原理
它基于一个理想的平行板电容器原理，传感器与相对面被测目 标形成的两个电极，采用保护环电容器原理，用于测量任何金属 时，传感器仍是线性的。
E01.Cap 电容式测微仪技术参数
| 型号 | E09.Cap | 单位 |
| 量程范围 | 0~200 | μm |
| 线性度 | ±0.1 | μm |
| 静态分辨率 | 2.5 | nm |
| 动态分辨率（1kHz） | 100 | nm |
| 传感器直径 | 10 | mm |
| 最小目标直径 | 10 | mm |
| 静态重复性 | 5 | nm |
| 信号温度稳定性 | ＜ 0.005 | %FSO/℃ |
| 长期稳定性 | ＜ 0.04 | %FSO/ 月 |
| 带宽 | 2 | kHz（-3dB） |
| 工作温度范围 | +10~+50 | ℃ |
| 环境湿度 | <85 | % |
| 电压输出范围 | 0~+10 | V |
| 供电电压 | 220VAC 50Hz±10% |
|
| 传感器线长 | 1.6 | m |
| 板卡尺寸：长×高× 深 | 35×130×180 | mm |
| 机箱尺寸：长×高× 深 | 280×170×360 | mm |
特性：
• 模块化设计、自由组拼
• 可提供单个板卡模块
• 高分辨率 • 模拟输出
• 非接触式测量
应用：
• Z向水准测量 • X, Y向定位
• 轴向振动测量
• 热膨胀测量 • 位移台传感器
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