XP-780系列大行程压电扫描台具有25mm×25mm的通孔，适用于光学扫描。平台可以通过叠加转接的方式 实现二维、三维运动。采用机构放大设计原理，柔性铰链连接支撑传动，内部采用高可靠性压电陶瓷驱动，实现X轴220μm的 位移，可以配置闭环传感实现高精度扫描与定位。压电平台具有25mm×25mm的通孔，适用于光学扫描。

大行程、高精度、大负载

XP-780系列大行程压电扫描台采用机构放大设计原理， 可以实现zui大220μm的位移行程，无摩擦无空回的柔性导向 机构使其具有超高的分辨率，选择配置闭环传感器可实现纳 米级的定位精度，台体通孔使其适用于显微扫描等应用。
优异的结构设计使其具有非常高的刚度，承载能力大， 可带载5kg的样品作精密定位

1~3维扫描台

XP-780系列压电扫描台包括X、XY、XZ、XYZ多种规格 型号，可以自由叠加组合。

XP-780系列压电扫描台典型应用

• SPM扫描显微镜 • 干涉
• 掩模/晶圆定位 • 计量
• 生物技术 • 表面结构分析

特性

• zui大位移220μm

• zui大承载5kg

• 通孔尺寸：25×25mm

• 闭环重复定位精度高 • 开/闭环可选

XP-780系列压电扫描台技术参数：

以上参数是采用E00系列压电控制器测得。