运动自由度

X、Y

X、Y

驱动控制

2路驱动，2路传感

2路驱动

标称行程范围（0 ~+120 V）

16/轴

16/轴

μm±10%

Max.行程范围（0~+150 V）

18/轴

18/轴

μm±10%

传感器类型

SGS

-

闭/开环分辨率

0.6

0.2

nm

闭环线性度

0.3

-

%F.S.

闭环重复定位精度

0.25

-

%F.S.

俯仰/偏航/滚动

≤15

≤15

μrad

空载谐振频率

2

2

KHz±20%

闭/开环空载阶跃时间

8

0.5

ms±20%

承载能力

0.5

0.5

kg

静电容量

1.8

1.8

μF±20%

工作温度范围

-20~80

-20~80

°C

材质

铝

铝

出线长

1.5

1.5

m±10mm