压电物镜定位器 产品特点
Z 向运动 |
大行程范围 |
承载达 0.5kg |
可选配闭环传感器 |
产品应用
聚焦显微 |
激光加工 |
Z 向定位与扫描 |
表面结构分析 |
| 技术参数 | |||
型号 | XD730.400S-B1 | XD730.400K-B1 | 单位 |
运动方向 | Z | Z | |
标称行程范围（0~120V） | 400 | 400 | μm±10% |
行程范围（0~150V） | 500 | 500 | μm±10% |
传感器类型 | SGS | - | |
分辨率 | 14 | 4 | nm |
闭环线性度 | 0.2 | - | %F.S. |
闭环重复定位精度 | 0.05 | - | %F.S. |
空载谐振频率 | 150 | 150 | Hz±20% |
静电容量 | 28.8 | 28.8 | μF±10% |
承载能力 | 0.5 | 0.5 | kg |
重量 | 520 | 520 | g±5% |
台体材料 | 铝、钢 | 铝、钢 | |
注：以上参数是采用E00/E01系列压电控制器测得。驱动电压可在-20V~150V；对于高可靠的长期使用，建议驱动电压在0~120V。
压电物镜定位器
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