运动方式

频率负载曲线

闭环曲线

闭环传感输出监测电压与偏转镜输出偏转角度成线性关系。

高可靠性及长寿命、高稳定性及动态性

结构原理

P31系统内部装配带有预紧力的高可靠性压电促动器，被集成在成熟的、经过FEA建模分析的铰链导向系统。压电促动器为叠堆共烧型压电陶瓷，可提供更好的稳定性及可靠性。

压电促动器、导向机构及传感器是免维护的，不易损坏且提供超高的可靠性。的铰链/杠杆设计将惯性zui小化，允许25mrad的大角度俯仰/偏转范围（可将光束偏转50mrad），且具有非常快的响应速度，在毫秒级范围。

除了大偏转角度及高动态，P31还提供了亚微弧度的分辨率。内部集成高分辨率、全桥的应变传感器（SGS）实现了的位置控制，具有优异的重复定位精度，通常为满行程的0.2%。

压电偏转镜（两轴运动）是基于平行运动学设计，具有共面轴及移动面。四个执行机构（压电促动器）以90°角平分放置，成对的差分控制分布。两对差分驱动压电促动器在较大温度范围内提供zui高可实现的角度稳定性。它的偏摆运动是由两对压电促动器以推拉模式来实现，采用桥式连接电路控制。

可定制镜片转接座

驱动控制

P31压电偏转台θxθy两轴采用90^。相差输入，通过控制电压的大小，对不同的光路距离，可进行一定范围的圆形范围扫描，如下右图所示。

应用

产品测试

• 图像处理/稳定 • 光束扫描 • 隔行扫描、抖动 • 光束偏摆/稳定 • 光学、激光扫描、通信 • 光学滤波器/开关 • 光学显微成像 • SPM扫描显微镜 • 自适应光学、稳像 • 干涉