CAMTEK 自动光学检验AOI设备三维集成电路

Camtek灵活平台利用各种技术解决的复杂步骤3 dic发展和生产的需要。
我们自动化的2 d和3 d测量和缺陷检测能力覆盖进的产业需求解决产业路线图。
该系统包括数据分析工具使过程监控和产量的提高。

功能

•高容量整片肿块2 d和3 d检查和计量
•层厚度测量
•调整层之间
•覆盖测量
•高分辨率CD测量
•表面相关缺陷检查
•TSV CD测量
•通过了检验
•通过揭示/指甲高度和co-planarity测量
•RDL检验和计量

技术

•Camtek的白光三角测量传感器
•进的缺陷检测和计量处理引擎
•高分辨率三维共焦传感器
•光干涉测量技术对3 d

产品

Eagle-AP

Eagle-AP提供2 d和3 d检验和计量在同一平台上,同时保持的性能和吞吐量水平。

EagleT-AP

为的包装设计市场,EagleT-AP提供了2 d和3 d检验和计量在同一平台上,同时保持的性能和吞吐量水平。