研究级金相显微镜VMX6L大行程移动工作平台，长工作距半复消色差物镜，图像锐利清晰，广泛应用于晶圆、FPD等各项工业检测。

产品特点

1、VMX4L / VMX6L可以实现X、Y方向105mm-158mm的移动范围。

2、新设计的长工作距专业金相物镜,成像效果更好。

3、各种观察方法下都能得到清晰锐利与高对比度的显微图像。

4、附件齐全,配置完善,可灵活进行系统组合与功能拓展。

5、人机工程学设计、坚实可靠的系统结构。

观察图实例

丰富的观察方式，满足您的检测需求

DIC微分干涉观察

在正交偏光的基础上 , 插入DIC棱镜，即可进行DIC微分干涉观察。使用DIC技术 ,可以使样品表面微小的高

低差产生明显的浮雕效果，极大的提高图像的对比度。可匹配带DIC功能的物镜，使整个视场的干涉色一致，

微分干涉效果非常出色,高倍物镜DIC效果也较好。

产品结构设计

安全、稳重的机架结构设计

1、工业检测级显微镜体，低重心、高刚性、高稳定性金属机架，极大的提高的系统的抗振能力与成像的稳定性。

2、前置低手位粗微同轴调焦机构，内置100-240V宽电压变压器，可以适应不同地区的电网电压。

3、MX6R机型底座内部设有风循环散热系统，长时间使用也不会使机架过热。

高性能物镜转换器

1、VMX机型的转换器采用精密轴承设计，转动手感轻巧舒适，重复定位精度高，物镜转换后的同心度也得到较好的控制，根据MX系列机型配置及功能的不同，可以选择不同型号的转换器。

2、PI103C51型：明场5孔转换器，带DIC插槽，用于VMX4L/VMX4LT机型。

3、PI115C6BDI型：明暗场6孔转换器，带DIC插槽，用于VMX6L/VMX6LT机型。

不同的照明器可供选择

1、明场反射照明器：单颗大功率5W暖色LED照明，适用于VMX4L/VMX4LT机型。

2、明场反射照明器：柯拉照明系统，带视场光阑与孔径光阑，中心可调；带斜照明装置，适用于VMX4L/VMX4LT机型。

3、明暗场反射照明器：带可变孔径光阑，视场光阑，中心均可调；带明暗场照明切换装置，适用于MX6R/MX6RT机型。

4、透射照明: VMX系列均可使用透反两用机型。透射光源为单颗大功率5W暖色LED，  并带有N.A.0.5聚光镜。

5、透射照明与反射照明可独立控制，即透反照明可同时开启，亦可单独开启。

大行程移动平台设计

1、VMX系列机型采用4〃/6〃平台设计，不仅适用于相应尺寸的晶圆及FPD检测，而且可用于小尺寸样品的阵列检测。

2、VMX4L/VMX4LT：4英寸双层机械移动平台，移动范围105mm×105mm；VMX6L/VMX6LT：6英寸三层机械移动平台，反射照明移动范围158mm×158

3、mm，透射照明移动范围100mm×100mm；带离合器手柄，可用于全行程范围内快速移动。

4、通过使用平台适配接口，所有平台可在VMX系列机型之间通用。

超长工作距金相物镜

1、全*设计的长工作距物镜，采用半复消色差技术，其使用的多层宽带镀膜技术，使整个视场内的成像清晰锐利，色彩自然，明亮舒适。

2、长工作距设计，50X物镜的有效工作距离7.9mm，100X物镜的有效工作距离也达到了 2.1mm，更有20X超长工作距金相物镜，大幅拓展了VMX机型的同步设计了全套明暗场两用物镜，适用于 VMX6L 机型，暗场照明亮度比传统暗场物镜提高 2 倍以上。

无限远铰链式三目观察头

1、ETTR型正像铰链三目观察头，所成像的方位与物体实际方位yi致，物体移动的方向跟像面移动的方向相同，便于使用者观察与操作。适用于6英寸移动平台配合使用。

2、VMX4LTH30R型铰链三目观察筒，适用于4英寸平台配合使用。

3、两种类型的观察筒可以在VMX机型内通用。

产品技术参数

产品尺寸