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超真空薄膜蒸发系统 我有新说法

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超真空薄膜蒸发系统是一种用于物理学、电子与通信技术领域的分析仪器，于2009年3月25日启用。

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超真空薄膜蒸发系统技术指标

Φ550×600,6.6×10^ -8。^[1]

超真空薄膜蒸发系统主要功能

半导体材料的蒸发。^[1]

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