a、源蒸发室（1）真空室约Φ306×500 （2）离子泵（400L）（3）样品架（三维调节+旋转）（4）旋转用电动机（5）插板阀CF-150（6）插板阀CF-100 （7）观察窗CF-100（8）窗挡板 （9）盲板CF100 （10）束源冷阱底盘（11）有机分子束源（12）无机分子束源（13）加热电源（14）束源挡板（15）总挡板 (16) 掩模更换(17) 对接波纹管（18）机台架（19）膜厚测试仪（20）数显超高真空计 (21)CF35 玻璃视窗 b、样品予处理室（1）真空室约Φ260 ×250（2）分子泵600L/S（3）插板阀CF-150（4）磁力传动器（5）金属角阀CF-35（6）真空管路及旁抽管路波纹管（7）机械泵8L/S（8）数显复合真空计（9）机台架（10）观察窗 (11)CF35 玻璃视窗。^[1]

教学中，该设备可用于物理学院全院研究生以及部分本科生的教学及演示实验；在科研中，该超高真空多功能薄膜制备系统具备如下基本功能：氢、氧等离子体处理；样品退火处理；功能有机薄膜生长；功能无机薄膜生长；原位发光光谱测量；样品封装等。^[1]