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真空热蒸发镀膜机技术指标
直径400mm，高475mm,D字形结构；铝合金或不锈钢舱体可供选择；可处理直径200mm的基片；整体尺寸600mmx1000mm。[1]
真空热蒸发镀膜机主要功能
支持多个PVD操作；最多可安装6个蒸发源；独立或共蒸功能；可与手套箱集成；多种备选功能；通用电源。[1]
参考资料
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