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真空热蒸发镀膜机 我有新说法

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真空热蒸发镀膜机是一种用于信息科学与系统科学领域的分析仪器，于2013年12月24日启用。

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真空热蒸发镀膜机技术指标

直径400mm，高475mm,D字形结构；铝合金或不锈钢舱体可供选择；可处理直径200mm的基片；整体尺寸600mmx1000mm。^[1]

真空热蒸发镀膜机主要功能

支持多个PVD操作；最多可安装6个蒸发源；独立或共蒸功能；可与手套箱集成；多种备选功能；通用电源。^[1]

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