Focus PEEM的电子光学系统包括三级静电透镜系统，结合精心设计的消像散器/偏转模块，使得Focus PEEM具有的空间分辨率。 1.符合VT-SPM UHV系统工作条件及安装要求 2.横向分辨率优于40nm 3.分析区域的尺寸连续可调，最小分析区域直径5微米，分析区域直径600微米 4.仪器面板操作控制或计算机软件控制 5.计算机数据采集、处理，12.5幅/秒采集速度 6.可选配集成样品台，提供高的稳定性和定位精度以及信噪比 7.样品可加热至约2000度。^[1]

通过观察样品表面发射的电子，可以获得分辨率的表面形貌、化学成分和磁性信息（横向分辨率可达到40nm）。^[1]